Project: Back-End of Line Integration of Multifunctional Technologies Enabling Scaling Paradigms for an Environment Aware Future – BEoL4Future –
Project start: 8 May 2024
The project explores the integration of innovative, energy-efficient, and multifunctional nanoelectronic devices into available and well-established industrial CMOS technology platforms. The back-end-of-line (BEOL) integration of innovative device concepts into industrially manufactured CMOS technologies will combine the strengths of both sides, enabling high-performance and scalable industrial CMOS transistors to benefit from the enhanced functionalities made possible by innovative technologies and devices. This project aims to expand the process capabilities available at NaMLab gGmbH to the extent that the integration of devices developed at NaMLab with conventional CMOS devices (chips) is possible in a way that allows for reliably fast learning cycles and a higher number of experiments within the usual timeframe specified by projects.
The project is co-financed by the European Union and from tax revenues on the basis of the budget adopted by the Saxon State Parliament.
Vorhaben: Back-End of Line Integration von multifunktionalen Technologien zur Erforschung von Skalierungs-Paradigmen für eine Umwelt bewusste Zukunft – BEoL4Future –
Das Projekt zielt darauf ab, die Integration innovativer, energieeffizienter und multifunktionaler nanoelektronischer Bauelemente auf verfügbaren und gut etablierten industriellen CMOS-Technologieplattformen zu erforschen. Die Back-End-of-Line (BEOL)-Integration (Integration in die Verdrahtungsebenen) innovativen Bauelementkonzepte in industriell verarbeitete CMOS-Technologien wird die Stärken beider Seiten kombinieren, so dass die leistungsfähigen und skalierbaren industriellen CMOS-Transistoren von den erweiterten Funktionalitäten profitieren können, die durch neuartige Technologien ermöglicht werden. Mit diesem Vorhaben sollen die bei der NaMLab gGmbH verfügbaren Prozessmöglichkeiten soweit erweitert werden, dass die Integration von am NaMLab entwickelten Bauelementen zusammen mit herkömmlichen CMOS-Bauelementen (Chips) in einer Weise ermöglicht wird, die es erlaubt zuverlässig schnelle Lernzyklen und eine höhere Anzahl von Experimenten in der von Projekten vorgegebenen Zeit zu ermöglichen.
Diese Arbeiten werden mitfinanziert durch die Europäische Union und durch Steuermittel auf der Grundlage des vom Sächsischen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
